กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดประสิทธิภาพสูง มีเทคโนโลยี E-SEM ที่รองรับการศึกษาชิ้นงานที่มีความชื้นสูง ครีมของเหลว หรือตัวอย่างชีวภาพ และการให้ความร้อนสูงเพื่อศึกษาทางวัสดุศาสตร์
มีระบบสภาวะสุญญากาศ (Vacuum mode) ที่มีรายละเอียดดังต่อไปนี้
- แหล่งกำเนิดอิเล็กตรอนเป็นแบบ Field Emission Gun (FEG)
- High vacuum สามารถทำระดับความดันได้ <6x10-4 ปาสคาล
- Low vacuum สามารถทำระดับความดันได้ถึง 200 ปาสคาล
- E-SEM ความดัน สามารถทำระดับความดันได้ถึง 4000 ปาสคาล และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้ตั้งแต่ -20 องศาเซลเซียส ถึง 50 องศาเซลเซียส
อัตราค่าบริการ ***
รายการ | ภายใน มข. | สถานศึกษาภายนอก | เอกชน/รัฐวิสาหกิจ |
การถ่ายภาพด้วย SEM, การวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS, การใช้งาน FIB (เหมาจ่าย บาท/ชม.) | 1,200 | 1,800 | 3,000 |
การฉาบด้วยผิวทองคำ (Coat ทอง) (บาท/ครั้ง) | 200 | 400 | 600 |
การทำตัวอย่างแห้งที่จุดวิกฤต (บาท/ครั้ง) | 400 | 800 | 1,200 |